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超紫外超快激光源STKM-XUUS

STKM XUUS是一种基于高次谐波(HHG)的相干EUV/软X射线光源。

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STKM XUUS是一种基于高次谐波(HHG)的相干EUV/软X射线光源。它是一个完整的商业应用的工程化集成一体光机平台。利用专利技术将高谐波转换过程的中空波导将超快激光脉冲转变为光谱中的极紫外(EUV)或软X射线区域。采用高次谐波产生工艺,输出光束完全相干、波长可调范围10-47nm的类激光。此外,定制系统可以产生波长短于6.5 nm的相干光束。

显著特性:

•       优化的波导几何结构以可获得最高的转换效率

•       具有高空间相干性的最佳相位匹配

•       波导提供稳定且近似高斯相干的EUV光束

•       专有的空心波导盒允许更长的寿命和更快速的盒交换,最小的光路调整

•       最小量气体使用-降低操作成本与交替HHG技术

•       自动泵浦光束对准和稳定性

光束/线特性:

•      最大化,灵活性的模块化的XUSTM光束线

模块用于:

•      EVA光束的聚焦和转向

•      IR滤波和选择单个谐波谱峰

•      EVA功率谱测量

•      优化EVA吞吐量,优化光学系统

•      基于NIST严格校准探测器和无背景EUV通量表征

系统特性

•       完全集成和检验系统

•       可改变重复率和脉冲能量以优化不同光谱区域的EUV通量

特性:

•       专利技术的波导中的高次谐波转换以获得最佳的转换、稳定性和最小的气体使用量。

相对于最严苛的应用要求,EUV通量可以超过> 1×1012 ph/sec

•       波长范围:EUV 10-47 nm (26-144 eV)

•       软X射线 6.7-10 nm (124-200 eV)

•       超稳定的光束性能,四轴主动稳定,产生与可见红外激光器相当的EUV光束强度和波前稳定性

•       最高效率HHG:平均EUV功率高达10μW

•       重复频率1 kHz-100 kHz

•       用于性能监测和校准控制的诊断摄像机

•       图形化、直观的软件控制

•       稳定的温控工业光学平台

•       不断增长的光束模块,使客户的实验搭建更容易

•       基于多年研发4代优化的设计

•       高相干、波前稳定、近高斯激光的EUV光

•       定制的XUUS系统可产生波长为2nm的软X射线

•       波导设计可使最少高压气体的有效的利用

•       1000倍小于气体射流几何形状和高达100倍的效率

•       XUUS输出可以针对不同的应用进行优化:ARPES、成像、瞬态吸收、MOKE、XMCD

应用:

•      纳米电学测量和支持EUV光刻

•      高分辨率时间分辨无透镜纳米成像

•      超快磁性材料与自旋电子学研究

•      光电发射:Tr ARPES和阿秒材料科学

•      高时空分辨率的磁、材料、分子和纳米系统动力学的泵浦探针研究

•      分子动力学与阿秒科学


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