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扫描振镜83xx系列

Cambridge Technology拥有近50年的专业经验,能够设计、开发和制造创新型激光光束扫描方案, 包括基于多边形转镜和基于振镜电机的光学扫描部件、2轴和3轴扫描头、扫描子系统、大功率扫描头,以及控制硬件和软件。我们尤其擅长于和主要的设备制造商合作,以设计出满足其应用需求的产品,从最大型的工程方案至最小的部件。主要市场应用包括:先进工业加工工艺,比如增材制造、激光模切、激光打标和PCB钻孔,以及各种医疗应用,比如激光治疗和光学相干断层成像技术。

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Cambridge Technology拥有近50年的专业经验,能够设计、开发和制造创新型激光光束扫描方案, 包括基于多边形转镜和基于振镜电机的光学扫描部件、2轴和3轴扫描头、扫描子系统、大功率扫描头,以及控制硬件和软件。我们尤其擅长于和主要的设备制造商合作,以设计出满足其应用需求的产品,从最大型的工程方案至最小的部件。主要市场应用包括:先进工业加工工艺,比如增材制造、激光模切、激光打标和PCB钻孔,以及各种医疗应用,比如激光治疗和光学相干断层成像技术。

83xxH 系列扫描振镜电机

83xxK系列电机基于62xxH系列的速度及可靠性,同时具有更高的分辨率和热稳定性,适用于高要求及高精度的应用。各机型均采用一流的动磁式激励技术与进一步改进了的Cambridge Technology独有的增强型位置探测器。83xxK系列产品漂移小、噪音低,适用于微加工类的高精度需求及稳定性要求高的大幅面加工应用。

可达到最高级别的扫描精度、速度及稳定性:

• 业内速度最快的电机,更好的分辨率及稳定性

• 一流的精度保证高质量的加工效果

• 强大可靠的设计保证长时间稳定性及使用寿命

• 紧凑的封装方式易于在小空间内集成

• 选择范围广泛的镜片(3-50mm)和镀膜类型

产品型号

8300K

8310K

8315K

8320K

8330K

8331K

8340K

8350K

8360K

入射光直径 (mm)

3 - 7

3 - 7

3 - 7

5 - 10

8 - 15

8 - 15

12 - 25

25 - 75

30 - 100

激光波长

355/532nm /1030 - 1080 nm / 9.4 - 10.6 μm ;宽带镀膜: 350 nm – 12 μm

最大扫描角度(°)

40°

40°

40°

40°

40°

40°

40°

40°

40°

转动惯量

(gm·cm2, ±10%)

0.013

0.018

0.028

0.125

0.97

0.82

2.4

15.6

47.5

扭矩常数(dyne·cm /amp, ±10%)

12000

27900

37800

61700

131000

111000

200000

708000

850000

最高转子温度 (°C)

110°

110°

110°

110°

110°

110°

110°

110°

110°

热阻 (转子至机箱,°C/W ,最大)

3.8

2.0

1.0

1.0

0.8

1.0

0.62

0.35

0.2

线圈电阻

(Ω,±10%)

2.14

3.7

2.5

2.79

1.07

1.27

1.03

1.69

0.60

线圈电感

(μH, ±10%)

52

109

94

180

173

176

350

1030

530

反EMF电压 (μV/°/sec, ±10%)

20.9

48.7

66

108

229

195

346

1220

1480

最大RMS电流(A、外壳温度50°)

2.3

2.4

4.1

3.9

7.1

5.8

8.2

7.1

12

峰值电流

(A、最大)

6

8

20

20

25

25

25

20

40

小角度阶跃响应

3 mm

Y 镜片

3 mm

Y 镜片

3mm

Y 镜片

5mm

Y 镜片

10mm

Y 镜片

10mm

Y 镜片

15mm

Y 镜片

50 mm

Y 镜片

50 mm

Y 镜片

130μs

100μs

130μs

200μs

250μs

250μs

350μs

3.0ms

2.1ms

重量(克、常规)

13.3

18

25.8

42.5

267

142

356

590

1200

位置探测器技术参数:

线性度

超过 20°时最小为 99.9%,超过 40°通常为 99.5%

比例漂移

15 ppm/°C(最大)

零点漂移

5 μrad/°C(最大)

重复精度(短期)

8 μrad

输出信号(常规模式)

最小 283 μA、AGC 电流为 60 mA

输出信号(差分模式)

22.6 μA/° (±2.5%)、常规模式的电流为 283 μA

输出信号(常规模式与差分模式之比)

12.5 (±2.5%)

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